產品展示
前后槽位布局模塊設計,一套模塊由2個制程槽位結合
機臺材質為塑材PP/PVC,全罩防護式焊接組裝。
設備應用濕法制程酸堿蝕刻清洗,觸控人機或PC界面搭配PLC的軟件控制,由機械手臂180度旋轉設計執行槽位間的晶圓輸送,依制程需求或場地需求,配置多款制程槽位模塊,提高產能輸出,生產流程更有效率管控,各種安全防護標準設計,針對設備與人員的各種危險隱憂提高保護措施。