產品展示
橫向隧道型槽位布局設計,依序為上貨區>>制程區>>下貨區
機臺材質為不銹鋼鏡面鈑金,全罩防護式焊接組裝。
設備應用濕法制程有機溶劑清洗,PC搭配PLC的軟件控制,由機械手臂執行各槽位站點的晶圓輸送,各制程槽的參數執行,提高產能輸出,生產流程更有效率管控,各種安全防護標準設計,針對設備與人員的各種危險隱憂提高保護措施。