橫向隧道型槽位布局設計，依序為上貨區>>制程區>>下貨區

機臺材質為不銹鋼鏡面鈑金,全罩防護式焊接組裝。

設備應用濕法制程有機溶劑清洗，PC搭配PLC的軟件控制，由機械手臂執行各槽位站點的晶圓輸送，各制程槽的參數執行，提高產能輸出，生產流程更有效率管控，各種安全防護標準設計，針對設備與人員的各種危險隱憂提高保護措施。