產品展示
設備應用9imch以下光刻版尺寸清洗制程;觸控人機搭配PLC的軟件控制,對各制程步驟進行參數控制;使用無刷式馬達控制系統,轉速最高可達3000rpm,轉速精度2rpm;化學品擺臂清洗系統;HVS擺臂清洗系統;DI Water正/背面清洗系統;高轉速旋干系統;