設備應用8imch以下晶圓尺寸旋干制程；
觸控人機搭配PLC的軟件控制對旋干步驟進行程序化控制；
使用無刷式馬達控制系統，轉速最高可達3000rpm，振動值控制350um以下；
DI Water清洗輔助系統；
Hot N2干燥輔助系統