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設備應用8imch以下晶圓尺寸旋干制程;觸控人機搭配PLC的軟件控制對旋干步驟進行程序化控制;使用無刷式馬達控制系統,轉速最高可達3000rpm,振動值控制350um以下;DI Water清洗輔助系統;Hot N2干燥輔助系統