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<p style="line-height: 2em;"><span style="font-size: 14px;">設備應用9imch以下光刻版尺寸清洗制程；<br/>觸控人機搭配PLC的軟件控制，對各制程步驟進行參數控制；<br/>使用無刷式馬達控制系統，轉速最高可達3000rpm，轉速精度2rpm；<br/>化學品擺臂清洗系統；<br/>HVS擺臂清洗系統；<br/>DI Water正/背面清洗系統；<br/>高轉速旋干系統;</span></p>
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