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<p style="line-height: 2em;"><span style="font-size: 14px;">設備應用8imch以下晶圓尺寸旋干制程；<br/>觸控人機搭配PLC的軟件控制對旋干步驟進行程序化控制；<br/>使用無刷式馬達控制系統，轉速最高可達3000rpm，振動值控制350um以下；<br/>DI Water清洗輔助系統；<br/>Hot N2干燥輔助系統</span></p>
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